Revolusi Presisi dina manufaktur semikonduktor: Nalika granit patepung sareng téknologi mikron
1.1 Panemuan anu teu kaduga dina élmu bahan
Numutkeun laporan Asosiasi Semikonduktor Internasional SEMI 2023, 63% pabrik canggih di dunya parantos mimiti nganggo dasar granit tinimbang platform logam tradisional. Batu alam ieu, anu asalna tina kondensasi magma anu jero di jero Bumi, nyerat ulang sajarah manufaktur semikonduktor kusabab sipat fisikna anu unik:
Kaunggulan inersia termal: koefisien ékspansi termal granit 4.5 × 10⁻⁶/℃ ngan ukur 1/5 tina stainless steel, sareng stabilitas diménsi ± 0.001mm dijaga dina padamelan kontinyu mesin litografi.
Ciri redaman geter: koefisien gesekan internal 15 kali langkung luhur tibatan beusi tuang, sacara efektif nyerep geteran mikro alat
Sifat magnetisasi nol: ngaleungitkeun sagemblengna kasalahan magnét dina pangukuran laser
1.2 Perjalanan métamorfosis ti milik kuring ka anu endah
Ngagunakeun basis produksi ZHHIMG anu cerdas di Shandong salaku conto, sapotong granit atah kedah ngalaman:
Mesin ultra-presisi: pusat mesin linkage lima sumbu salami 200 jam panggilingan kontinyu, karasana permukaan dugi ka Ra0.008μm
Perawatan sepuh jieunan: 48 jam pelepasan setrés alami dina bengkel suhu sareng kalembaban konstan, anu ningkatkeun stabilitas produk ku 40%
Kadua, pecahkeun genep masalah presisi dina manufaktur semikonduktor "solusi batu"
2.1 Skéma pangurangan laju fragmentasi wafer
Démonstrasi kasus: Saatos pabrik pengecoran chip di Jerman ngadopsi platform granit ngambang gas kami:
| Diaméter wafer | pangurangan laju chip | pamutahiran rata |
| 12 inci | 67% | ≤0.001mm |
| 18 inci | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Skéma kamajuan akurasi alignment litografi
Sistem kompensasi suhu: sensor keramik anu dipasang ngawaskeun variabel bentuk sacara real time sareng sacara otomatis nyaluyukeun kacenderungan platform
Data anu diukur: dina fluktuasi 28 ℃ ± 5 ℃, akurasi panyisipan fluktuasi kirang ti 0,12μm
Waktos posting: 24-Mar-2025