Manufaktur semikonduktor: Dina prosés manufaktur chip, prosés fotolitografi kedah mindahkeun pola sirkuit sacara tepat ka wafer. Dasar granit tina modul gerakan ultra-presisi ngambang hawa sumbu tunggal tiasa nyayogikeun posisi presisi anu luhur sareng dukungan anu stabil pikeun méja wafer dina alat litografi. Salaku conto, ASML sareng produsén mesin litografi anu kasohor sacara internasional sanésna nganggo modul gerakan ngambang hawa dasar granit dina alat-alat canggihna, anu tiasa ngontrol akurasi posisi wafer dina tingkat nanometer pikeun mastikeun akurasi pola litografi, sahingga ningkatkeun integrasi sareng kinerja chip.
Widang pangukuran presisi: CMM nyaéta alat pangukuran presisi anu umumna dianggo dina produksi industri, anu dianggo pikeun ngukur ukuran, bentuk sareng akurasi posisi benda kerja. Modul gerakan ultra-presisi tina pelampung hawa sumbu tunggal dina dasar granit tiasa dianggo salaku platform gerakan CMM, anu tiasa ngawujudkeun gerakan linier presisi tinggi sareng nyayogikeun lintasan gerakan anu stabil pikeun probe pangukur. Salaku conto, CMM kelas luhur Hexagon nganggo kombinasi ieu pikeun ngukur bagian anu ageung sareng rumit kalayan akurasi pangukuran dugi ka tingkat mikron, nyayogikeun jaminan anu kuat pikeun kontrol kualitas bagian dina industri otomotif, aerospace sareng industri sanésna.
Widang aerospace: Dina pamrosésan sareng uji coba bagian aerospace, presisi anu luhur diperyogikeun. Salaku conto, pamrosésan bilah mesin pesawat meryogikeun kontrol anu tepat tina lintasan gerakan alat pikeun mastikeun akurasi profil bilah. Dasar granit tina modul gerakan ultra-presisi pelampung hawa sumbu tunggal tiasa diterapkeun kana pusat pamrosésan lima sumbu sareng alat-alat sanésna pikeun nyayogikeun kontrol gerakan presisi tinggi pikeun alat sareng mastikeun yén akurasi pamrosésan bilah tiasa nyumponan sarat desain. Dina waktos anu sami, dina prosés perakitan mesin aero, ogé diperyogikeun pikeun nganggo alat ukur presisi tinggi pikeun ngadeteksi akurasi perakitan bagian-bagianna. Modul gerakan ngambang hawa tina dasar granit tiasa nyayogikeun dukungan anu stabil sareng gerakan anu akurat pikeun alat ukur pikeun mastikeun kualitas perakitan.
Widang pamariksaan optik: Dina prosés manufaktur sareng uji coba komponén optik, perlu pikeun ngalaksanakeun posisi sareng pangukuran komponén optik anu presisi tinggi. Salaku conto, nalika ngadamel komponén optik presisi tinggi sapertos eunteung sareng lénsa, perlu nganggo interferometer sareng alat-alat sanés pikeun ngadeteksi akurasi bentuk permukaan. Dasar granit tina modul gerakan ultra-presisi ngambang hawa sumbu tunggal tiasa dianggo salaku platform gerakan interferometer, anu tiasa ngawujudkeun akurasi posisi sub-mikron sareng nyayogikeun dukungan data anu akurat pikeun ngadeteksi komponén optik. Salian ti éta, dina alat pamrosésan laser, perlu ogé nganggo platform gerakan presisi tinggi pikeun ngontrol lintasan scanning sinar laser, dasar granit tina modul gerakan ngambang hawa tiasa nyumponan sarat ieu, pikeun ngahontal pamrosésan laser presisi tinggi.
Waktos posting: Apr-07-2025