Revolusi Precision dina manufaktur semikonduktor: Nalika granit meets téhnologi micron
1.1 Papanggihan anu teu kaduga dina élmu bahan
Numutkeun laporan Asosiasi Semikonduktor Internasional SEMI 2023, 63% tina pabrik canggih di dunya parantos mimiti ngagunakeun basa granit tibatan platform logam tradisional. Batu alam ieu, anu asalna tina kondensasi magma jero Bumi, nulis ulang sajarah manufaktur semikonduktor kusabab sipat fisik unik na:
Kauntungannana inersia termal: koefisien ékspansi termal tina granit 4.5 × 10⁻⁶ / ℃ ngan 1/5 tina stainless steel, sareng stabilitas dimensi ± 0.001mm dijaga dina karya kontinyu tina mesin lithography.
Ciri damping geter: koefisien gesekan internal 15 kali langkung luhur tibatan beusi tuang, sacara efektif nyerep alat mikro-Geter.
Zero magnetization alam: lengkep ngaleungitkeun kasalahan magnét dina pangukuran laser
1.2 Perjalanan métamorfosis ti tambang ka fab
Nyandak basis produksi calakan ZHHIMG di Shandong sabagé conto, sapotong granit atah kedah ngalaman:
Ultra-precision machining: lima sumbu linkage machining puseur pikeun 200 jam panggilingan kontinyu, roughness permukaan nepi ka Ra0.008μm
Perawatan sepuh buatan: 48 jam sékrési setrés alami dina bengkel suhu sareng kalembaban konstan, anu ningkatkeun stabilitas produk ku 40%
Kadua, rengat genep masalah precision manufaktur semikonduktor "solusi batu"
2.1 Skéma réduksi laju fragméntasi wafer
Demonstrasi kasus: Saatos foundry chip di Jerman adopts platform granit ngambang gas kami:
| Diaméter wafer | pangurangan laju chip | perbaikan flatness |
| 12 inci | 67% | ≤0.001mm |
| 18 inci | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Skéma narabas akurasi alignment Lithographic
Sistem santunan suhu: sénsor keramik anu dipasang ngawaskeun variabel bentuk sacara real waktos sareng otomatis nyaluyukeun inclination platform
Data diukur: dina turun naek 28 ℃ ± 5 ℃, akurasi embedding fluctuates kirang ti 0.12μm
waktos pos: Mar-24-2025