Dina widang manufaktur precision jeung panalungtikan ilmiah, flatness tina platform precision granit mangrupakeun indikator konci pikeun mastikeun akurasi alat. Di handap ieu mangrupakeun bubuka lengkep pikeun sababaraha métode deteksi mainstream jeung prosedur operasi maranéhanana pikeun anjeun. .
I. Métode Deteksi interferometer laser
The laser interferometer teh alat pikaresep pikeun deteksi flatness-precision tinggi. Candak interferometer laser ZYGO GPI XP sabagé conto, résolusina tiasa ngahontal 0.1nm. Nalika ngalakukeun deteksi, mimitina align sumber cahaya tina interferometer sareng platform sareng ngabagi permukaan platform kana 50mm × 50mm daérah grid. Salajengna, data fringe interferensi dikumpulkeun titik-demi titik, sarta data dipasang sarta dianalisis ngagunakeun Zernike polynomial pikeun meunangkeun kasalahan flatness. Metoda ieu lumaku pikeun platform-precision tinggi sarta bisa ngadeteksi kasalahan flatness of ≤0.5μm / m². Biasana dianggo dina deteksi mesin fotolitografi sareng platform mesin ukur tilu koordinat anu luhur. .
ii. Métode Array Level Éléktronik
Deteksi susunan tingkat éléktronik saderhana dioperasikeun sareng éfisién pisan. Tingkat éléktronik TESA A2 (kalayan resolusi 0.01μm / m) dipilih sareng disusun dina susunan 9 × 9 sapanjang arah sumbu X / Y tina platform. Ku synchronously ngumpulkeun data inclination unggal tingkat lajeng ngagunakeun métode kuadrat sahenteuna pikeun itungan, nilai flatness bisa akurat diala. Metoda ieu sacara efektif tiasa ngaidentipikasi kaayaan konkavitas lokal sareng konveks platform. Contona, fluktuasi 0.2μm dina rentang 50mm ogé bisa dideteksi, nu cocog pikeun deteksi gancang dina produksi masal. .
iii. Métode kristal Datar optik
Metodeu kristal datar optik cocog pikeun deteksi platform aréa leutik. Gantelkeun kristal datar optik pageuh kana beungeut pikeun diuji dina platform jeung niténan fringes gangguan kabentuk antara aranjeunna dina katerangan tina sumber cahaya monochromatic (sapertos lampu natrium). Lamun stripes anu stripes lempeng paralel, éta nunjukkeun flatness alus. Lamun belang melengkung nembongan, etang kasalahan flatness dumasar kana darajat curvature belang. Unggal belang melengkung ngagambarkeun bédana jangkungna 0.316μm, sarta data flatness tiasa didapet ngaliwatan konversi basajan. .
Opat. Métode Inspeksi Mesin Ukur Tilu-koordinat
Mesin ukur tilu-koordinat tiasa ngahontal pangukuran-precision tinggi dina rohangan tilu diménsi. Teundeun platform granit dina worktable tina mesin ukur jeung make usik ka seragam ngumpulkeun data tina sababaraha titik ukur dina beungeut platform nu. Sistem mesin ukur ngolah sareng nganalisa data ieu pikeun ngahasilkeun laporan datar tina platform. Metoda ieu teu ngan bisa ngadeteksi flatness, tapi ogé ménta parameter geometric séjén tina platform sakaligus, sarta cocog pikeun deteksi komprehensif ngeunaan platform granit badag. .
Ngawasaan métode deteksi ieu bisa mantuan Anjeun akurat assess flatness tina platform precision granit sarta nyadiakeun jaminan dipercaya pikeun operasi stabil pakakas precision.
waktos pos: May-29-2025