Dina widang manufaktur high-end jeung panalungtikan ilmiah motong-ujung, modul gerak ultra-precision tina ngambang hawa geus jadi alat konci pikeun operasi rupa jeung pangukuran kalawan kinerja precision na alus teuing. Dasar precision granit, salaku inti rojongan, boga syarat ketat pikeun lingkungan gawé, sarta kaayaan lingkungan cocog anu jadi dadasar pikeun mastikeun kinerja stabil sarta pangaruh pangalusna.
Kahiji, kontrol suhu: precision "penstabil"
Sanajan granit dipikawanoh pikeun stabilitas na, teu sagemblengna kabal kana parobahan suhu. Sanajan koefisien ékspansi termal na low, umumna 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, dina skenario kontrol gerak ultra-precision, fluctuations hawa halus masih bisa ngabalukarkeun parobahan dimensi jeung mangaruhan akurasi modul. Dina bengkel manufaktur chip semikonduktor, prosés lithography merlukeun akurasi positioning tingkat danami, sarta hawa ambient fluctuates 1 ° C, sarta dasar granit kalawan panjang sisi 1 méter bisa ngahasilkeun ékspansi linier atawa kontraksi 5-7 microns. Parobahan leutik ieu dikirimkeun ku modul gerak ultra-precision tina ngambang hawa, anu cukup pikeun nyieun simpangan pola lithography chip sarta greatly ngurangan ngahasilkeun. Ku alatan éta, dilengkepan base precision granit tina hawa floating modul gerak ultra-precision, suhu lingkungan kerja idéal kudu dikawasa dina 20 ° C ± 1 ° C, kalayan bantuan precision tinggi parabot hawa konstan, kayaning hawa konstanta sarta kalembaban Sistim AC, ngawaskeun kontinyu sarta adjustment tina suhu ambient, pikeun mastikeun yén fluctuations hawa dina rentang ukuranana leutik pisan, ngajaga precision operasi stability pisan leutik.
Kadua, manajemén kalembaban: konci pikeun panyalindungan Uap-bukti "batu"
Kalembaban mangrupikeun faktor penting anu mangaruhan kinerja dasar granit precision. Dina lingkungan kalembaban anu luhur, granit gampang nyerep uap cai, anu tiasa nyababkeun kondensasi dina permukaan, anu henteu ngan ukur mangaruhan stabilitas sambungan granit sareng modul gerak ultra-precision tina ngambang hawa, tapi ogé tiasa nyababkeun erosi permukaan sareng ngirangan gloss sareng akurasi dina jangka panjang. Dina workshop grinding lénsa optik, upami kalembaban anu leuwih luhur ti 60% RH keur lila, uap cai adsorbed dina beungeut dasar granit bakal ngaganggu gerak slaider ngambang gas, ku kituna akurasi grinding lénsa diréduksi, sarta beungeut flawed. Ku alatan éta, kalembaban relatif lingkungan gawé kudu mastikeun dikawasa antara 40% -60% RH, nu bisa diawaskeun tur disaluyukeun sacara real waktu ku cara masang dehumidifiers, sensor kalembaban jeung alat sejenna pikeun nyegah karuksakan kana dasar granit alatan kalembaban tinggi, sarta mastikeun operasi lemes tina modul gerak ultra-precision tina ngambang hawa.
Katilu, kabersihan jaminan: "wali" precision
Cilaka partikel lebu kana dasar granit precision tina modul gerak ultra-precision of flotation hawa teu bisa underestimated. Sakali partikel leutik asup kana celah pilem gas antara slaider ngambang gas jeung dasar granit, aranjeunna bisa ngancurkeun uniformity tina pilem gas, ngaronjatkeun gesekan, sarta malah scratch permukaan dasarna, hasilna ngurangan akurasi gerakan. Dina bengkel machining ultra-precision bagian aerospace, upami partikel lebu dina hawa ragrag dina dasar granit, lintasan gerak alat machining bisa jadi nyimpang, mangaruhan akurasi machining sahiji bagian. Ku alatan éta, wewengkon gawé kudu dijaga kacida bersih, ngahontal 10.000 atawa malah leuwih luhur tingkat kabersihan, ngaliwatan pamasangan parabot purifikasi hawa, kayaning saringan hawa efisiensi tinggi (HEPA), nyaring kaluar partikel lebu dina hawa, dina waktos anu sareng, staf kudu ngagem pakean bébas lebu, nyertakeun sapatu, jeung sajabana, pikeun ngurangan lebu dibawa ku manusa. Ngajaga lingkungan operasi precision tinggi basa granit na ngambang hawa modul gerak ultra-precision.
Opat, isolasi geter: operasi lemes tina "shock pad"
Geter éksternal nyaéta musuh precision tina modul gerak ultra-precision tina ngambang hawa. Sanajan dasar granit precision miboga kamampuh atenuasi Geter tangtu, Geter-kakuatan tinggi masih bisa megatkeun wates panyangga na. Geter dihasilkeun ku lalulintas sabudeureun pabrik jeung operasi pakakas mékanis badag dikirimkeun ka base granit ngaliwatan taneuh, nu bakal ngaganggu akurasi gerak modul gerak ultra-precision tina ngambang hawa. Dina CMM high-end, geter tiasa nyababkeun kontak antara usik ukur sareng benda kerja diukur janten teu stabil, nyababkeun simpangan data pangukuran. Dina raraga ngajawab masalah ieu, perlu pikeun ngadopsi ukuran isolasi Geter éféktif, kayaning peletakan hampang isolasi Geter di wewengkon instalasi parabot, ngawangun yayasan isolasi Geter, atawa ngagunakeun sistem isolasi Geter aktip pikeun aktip offset Geter éksternal, sarta nyieun lingkungan kerja sepi tur stabil pikeun base precision granit jeung modul gerak ultra-precision ngambang hawa.
Ngan ku pinuh minuhan sarat lingkungan suhu, kalembaban, kabersihan jeung kontrol Geter, dasar precision granit tina modul gerak ultra-precision tina ngambang hawa bisa masihan muter pinuh kana kaunggulan kinerja na, nyadiakeun jaminan dipercaya pikeun operasi ultra-precision di sagala rupa widang, sarta mantuan industri pikeun pindah ka arah manufaktur precision luhur jeung tingkat panalungtikan ilmiah.
waktos pos: Apr-08-2025