Sistem bantalan hawa granit seueur dianggo dinaultra-presisiplatform gerak pikeun manufaktur semikonduktor, alignment optik, sareng metrologi skala nanometer.
Sistem ieu ngaleungitkeun kontak mékanis ku cara ngagunakeun pilem hawa ipis anu ditetepkeun, ngahasilkeun gerakan gesekan anu ampir enol.
Prinsip Bantalan Udara
Bantalan hawa beroperasi ku cara ngasupkeun hawa anu dikomprés antara dua permukaan, ngabentuk pilem hawa 2–20 μm.
Ieu ngaleungitkeun:
- Gesekan mékanis
- Pakéan
- Paripolah nu gampang léngkét
Sistem ieu ngandelkeun dinamika pilem fluida sareng aliran laminar anu stabil.
Kalungguhan Granit
Granit nyayogikeun:
- Stabilitas struktural
- Panyingkiran hanyutan termal
- Peredam geter
Éta janten dasar rujukan mékanis pikeun sistem gerakan.
Komponen Sistem
- Dasar granit
- Bantalan bantalan hawa
- Sistem suplai hawa
- Encoder presisi
- Sistem kontrol gerakan
Karakteristik Kinerja
Kinerja has ngawengku:
- Akurasi posisi sub-mikron
- Lempeng anu luhur dina perjalanan anu jauh
- Nol réaksi mékanis
Sumber kasalahan konci kalebet ketidakstabilan tekanan hawa, hanyutan termal, sareng kasalahan encoder.
Aplikasi
- Inspeksi wafer semikonduktor
- Sistem litografi
- Platform panyelarasan optik
- Mesin metrologi kelas luhur
FAQ
Naha bantalan hawa tiasa aus?
Teu aya kontak mékanis anu ngaleungitkeun karusakan.
Naha nganggo granit?
Pikeun stabilitas sareng redaman geter.
Naon anu ngawatesan akurasi?
Stabilitas hawa sareng pangaruh termal.
Naha aranjeunna tiasa ngabawa beban anu beurat?
Muhun, gumantung kana desainna.
Waktos posting: Jul-03-2026