Dina manufaktur semikonduktor, mesin fotolitografi mangrupikeun alat konci anu nangtukeun katepatan chip, sareng dasar granit, kalayan sababaraha ciri na, parantos janten komponén anu teu tiasa dipisahkeun tina mesin fotolitografi.
Stabilitas termal: "Tameng" ngalawan Parobahan Suhu
Nalika mesin fotolitografi dioperasikeun, éta ngahasilkeun panas anu ageung. Malahan fluktuasi suhu ngan ukur 0,1 ℃ tiasa nyababkeun deformasi komponén alat sareng mangaruhan akurasi fotolitografi. Koéfisién ékspansi termal granit rendah pisan, ngan ukur 4-8 ×10⁻⁶/℃, nyaéta sakitar 1/3 tina baja sareng 1/5 tina paduan aluminium. Ieu ngamungkinkeun dasar granit pikeun ngajaga stabilitas diménsi nalika mesin fotolitografi beroperasi salami lami atanapi nalika suhu lingkungan robih, mastikeun posisi komponén optik sareng struktur mékanis anu tepat.
Kinerja anti-geteran super: "Spons" anu nyerep geteran
Dina pabrik semikonduktor, operasi peralatan di sakurilingna sareng gerakan jalma sadayana tiasa ngahasilkeun geteran. Granit gaduh kapadetan anu luhur sareng tékstur anu teuas, sareng gaduh sipat redaman anu saé pisan, kalayan rasio redaman 2 dugi ka 5 kali lipat tibatan logam. Nalika geteran éksternal dikirimkeun ka dasar granit, gesekan antara kristal mineral internal ngarobih énergi geteran janten énergi panas pikeun disipasi, anu tiasa ngirangan geteran sacara signifikan dina waktos anu singget, ngamungkinkeun mesin fotolitografi pikeun gancang mulangkeun stabilitas sareng nyingkahan kabur atanapi salah arah pola fotolitografi kusabab geteran.
Stabilitas kimiawi: "Penjaga" Lingkungan anu Bersih
Bagian jero mesin fotolitografi kontak sareng rupa-rupa média kimia, sareng bahan logam biasa rentan ka korosi atanapi pelepasan partikel. Granit diwangun ku mineral sapertos kuarsa sareng feldspar. Éta ngagaduhan sipat kimia anu stabil sareng tahan korosi anu kuat. Saatos direndem dina larutan asam sareng alkali, korosi permukaanana alit pisan. Samentawis éta, struktur padetna ampir henteu ngahasilkeun lebu atanapi lebu, nyumponan sarat standar kamar bersih anu pangluhurna sareng ngirangan résiko kontaminasi wafer.
Adaptabilitas pamrosésan: "Bahan idéal" pikeun nyiptakeun patokan anu tepat
Komponén inti mesin fotolitografi kedah dipasang dina permukaan rujukan anu presisi tinggi. Struktur internal granit seragam sareng gampang diolah kalayan presisi anu luhur pisan ngalangkungan grinding, polishing sareng téknik sanésna. Karataanana tiasa ngahontal ≤0.5μm/m, sareng karasana permukaan Ra nyaéta ≤0.05μm, nyayogikeun dasar pamasangan anu tepat pikeun komponén sapertos lénsa optik.
Umur panjang sareng henteu kedah diropéa: "Pakakas seukeut" pikeun ngirangan biaya
Dibandingkeun sareng bahan logam anu gampang capé sareng retak nalika dianggo dina jangka panjang, granit jarang ngalaman deformasi plastik atanapi retakan dina beban normal, sareng henteu meryogikeun perawatan permukaan, sahingga nyingkahan résiko lapisan anu ngelupas sareng kontaminasi. Dina aplikasi praktis, saatos dianggo salami mangtaun-taun, indikator kinerja konci dasar granit masih tiasa tetep stabil, ngirangan biaya operasi sareng perawatan peralatan.
Tina stabilitas termal, résistansi geter dugi ka inertness kimia, sababaraha karakteristik dasar granit sacara sampurna nyumponan sarat mesin fotolitografi. Nalika prosés manufaktur chip terus berkembang nuju ka presisi anu langkung luhur, dasar granit bakal terus maénkeun peran anu teu tiasa digentoskeun dina widang manufaktur semikonduktor.
Waktos posting: 20-Méi-2025