Dina bengkel manufaktur semikonduktor, sarat prosés manufaktur chip pikeun kaayaan lingkungan sareng akurasi peralatan ekstrim pisan, sareng panyimpangan sakedik waé tiasa nyababkeun panurunan anu signifikan dina hasil chip. Platform gerakan gantry presisi XYZT ngandelkeun komponén granit pikeun kolaborasi sareng bagian sanés tina platform pikeun ngawangun pondasi anu kuat pikeun ngahontal akurasi nanoskala.
Sipat ngahalangan geter anu saé pisan
Dina bengkel manufaktur semikonduktor, operasi alat-alat periferal sareng karyawan anu leumpang di sakitarna tiasa nyababkeun geteran. Struktur internal komponén granit padet sareng seragam, kalayan karakteristik redaman alami anu luhur, sapertos "panghalang" geteran anu efisien. Nalika geteran éksternal dikirimkeun ka platform XYZT, komponén granit tiasa sacara efektif ngirangan langkung ti 80% énergi geteran sareng ngirangan gangguan geteran kana akurasi gerakan platform. Dina waktos anu sami, platform dilengkepan sistem pituduh pelampung hawa presisi tinggi, anu tiasa dianggo babarengan sareng komponén granit. Pituduh pelampung hawa nganggo pilem gas stabil anu dibentuk ku gas tekanan tinggi pikeun ngawujudkeun gerakan suspénsi tanpa kontak tina bagian platform anu bergerak sareng ngirangan geteran leutik anu disababkeun ku gesekan mékanis. Babarengan, duanana mastikeun yén akurasi posisi platform salawasna dijaga dina tingkat nanometer dina prosés konci sapertos litografi chip sareng etsa, sareng nyingkahan panyimpangan pola sirkuit chip anu disababkeun ku geteran.
Stabilitas termal anu saé pisan
Fluktuasi suhu sareng kalembaban di bengkel gaduh pangaruh anu ageung kana akurasi alat manufaktur chip. Koéfisién ékspansi termal granit rendah pisan, umumna dina 5-7 ×10⁻⁶/℃, ukuranana ampir teu robih nalika suhu robih. Sanaos bédana suhu antara siang sareng wengi di bengkel atanapi produksi panas alat nyababkeun suhu sekitar fluktuasi, komponén granit tiasa tetep stabil pikeun nyegah deformasi platform kusabab ékspansi sareng kontraksi termal. Dina waktos anu sami, sistem kontrol suhu calakan anu dilengkepan platform ngawas suhu sekitar sacara real time, sacara otomatis nyaluyukeun AC sareng alat disipasi panas, sareng ngajaga suhu bengkel dina 20 ° C ± 1 ° C. Digabungkeun sareng kaunggulan stabilitas panas granit, mastikeun yén platform dina operasi jangka panjang, akurasi gerakan unggal sumbu salawasna nyumponan standar presisi nanometer manufaktur chip, pikeun mastikeun yén ukuran pola litografi chip akurat, jerona etsa seragam.
Nyumponan kabutuhan lingkungan anu bersih
Bengkel manufaktur semikonduktor kedah ngajaga tingkat kabersihan anu luhur pikeun nyegah partikel lebu ngotoran chip. Bahan granit sorangan henteu ngahasilkeun lebu, sareng permukaanana lemes, henteu gampang nyerep lebu. Platform sacara gembleng ngadopsi desain struktur anu ditutup pinuh atanapi semi-tutup pikeun ngirangan lebu éksternal asup. Sistem sirkulasi hawa internal dihubungkeun sareng sistem AC bengkel anu bersih pikeun mastikeun yén kabersihan hawa internal ngahontal tingkat anu diperyogikeun ku manufaktur chip. Dina lingkungan anu bersih ieu, komponén granit moal mangaruhan kinerja kusabab erosi lebu, sareng komponén konci sapertos sénsor presisi tinggi sareng motor platform ogé tiasa beroperasi sacara stabil, nyayogikeun jaminan akurasi nanoskala anu kontinyu sareng tiasa dipercaya pikeun manufaktur chip, sareng ngabantosan industri semikonduktor pikeun pindah ka tingkat prosés anu langkung luhur.
Waktos posting: 14-Apr-2025