Dina bengkel manufaktur semikonduktor, sarat tina prosés manufaktur chip pikeun kaayaan lingkungan jeung akurasi alat anu ekstrim, sarta sagala simpangan slight bisa ngakibatkeun turunna signifikan dina ngahasilkeun chip. Platform gerakan gantry precision XYZT ngandelkeun komponén granit pikeun kolaborasi sareng bagian-bagian séjén platform pikeun ngawangun yayasan anu padet pikeun ngahontal akurasi skala nano.
Sipat pameungpeuk geter anu saé
Dina bengkel manufaktur semikonduktor, operasi alat periferal sareng tanaga anu leumpang di sabudeureun tiasa nyababkeun geter. Struktur internal komponén granit téh padet tur seragam, kalawan ciri damping tinggi alam, kawas hiji Geter efisien "panghalang". Nalika geter éksternal dikirimkeun kana platform XYZT, komponén granit sacara efektif tiasa ngirangan langkung ti 80% énergi geter sareng ngirangan gangguan geter dina akurasi gerak platform. Dina waktos anu sami, platformna dilengkepan sistem pituduh ngambang hawa precision tinggi, anu tiasa dianggo babarengan sareng komponén granit. Pituduh ngambang hawa ngagunakeun pilem gas stabil dibentuk ku gas tekanan tinggi pikeun ngawujudkeun gerakan gantung contactless sahiji bagéan pindah tina platform jeung ngurangan Geter leutik disababkeun ku gesekan mékanis. Kalawan babarengan, dua mastikeun yén akurasi positioning platform salawasna dijaga dina tingkat nanometer dina prosés konci kayaning chip lithography na etching, sarta ulah aya simpangan tina pola circuit chip disababkeun ku Geter.
stabilitas termal alus teuing
Fluktuasi suhu sareng kalembaban di bengkel gaduh pangaruh anu ageung kana katepatan alat manufaktur chip. Koéfisién ékspansi termal tina granit pisan low, umumna dina 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, ukuranana ampir unchanged nalika suhu robah. Malah lamun bédana hawa antara beurang jeung peuting di bengkel atawa produksi panas pakakas ngabalukarkeun hawa ambient turun naek, komponén granit bisa tetep stabil pikeun nyegah deformasi tina platform alatan ékspansi termal jeung kontraksi. Dina waktu nu sarua, sistem kontrol hawa calakan dilengkepan platform nu monitor suhu ambient sacara real waktu, otomatis ngaluyukeun AC jeung alat dissipation panas, sarta ngajaga suhu workshop di 20 ° C ± 1 ° C. Digabungkeun jeung kaunggulan stabilitas panas granit, mastikeun yén platform dina operasi jangka panjang, akurasi gerakan unggal sumbu chip pikeun mastikeun precision baku chip ukuranana sumbu baku pikeun mastikeun precision chip nanometer. akurat, jero etching nyaeta seragam.
Nyumponan kabutuhan lingkungan anu bersih
Toko manufaktur semikonduktor kedah ngajaga tingkat kabersihan anu luhur pikeun nyegah partikel lebu tina kontaminasi chip. Bahan granit sorangan henteu ngahasilkeun lebu, sareng permukaanna mulus, henteu gampang nyerep lebu. Platform sacara gembleng ngadopsi desain struktur anu ditutup atanapi semi-tutup pikeun ngirangan asupna lebu éksternal. Sistem sirkulasi hawa internal dikaitkeun sareng sistem AC bersih tina bengkel pikeun mastikeun kabersihan hawa internal ngahontal tingkat anu diperyogikeun ku manufaktur chip. Di lingkungan bersih ieu, komponén granit moal mangaruhan kinerja alatan erosi lebu, sarta komponén konci kayaning sensor-precision tinggi na motor tina platform nu ogé bisa beroperasi stably, nyadiakeun jaminan akurasi nanoscale kontinyu sarta dipercaya pikeun manufaktur chip, sarta nulungan industri semikonduktor pikeun pindah ka tingkat prosés nu leuwih luhur.
waktos pos: Apr-14-2025