Dina widang inspeksi wafer semikonduktor, purity lingkungan cleanroom langsung patali jeung ngahasilkeun produk. Nalika katepatan prosés manufaktur chip terus ningkat, sarat pikeun platform pamawa alat deteksi janten langkung ketat. Platform granit, kalayan ciri sékrési ion logam enol sareng polusi partikel anu rendah, parantos ngalangkungan bahan stainless steel tradisional sareng janten solusi anu dipikaresep pikeun alat pamariksaan wafer.
Granit mangrupakeun batu beku alam utamana diwangun ku mineral non-logam kayaning quartz, feldspar jeung mika. Karakteristik ieu masihan kauntungan tina sékrési ion logam nol. Sabalikna, baja tahan karat, salaku paduan logam sapertos beusi, kromium sareng nikel, rawan korosi éléktrokimia dina permukaanna kusabab erosi uap cai sareng gas asam atanapi basa dina lingkungan kamar beresih, nyababkeun présipitasi ion logam sapertos Fe²⁺ sareng Cr³⁺. Sakali ion leutik ieu ngagantelkeun kana beungeut wafer, aranjeunna bakal ngarobah sipat listrik bahan semikonduktor dina prosés saterusna kayaning photolithography na etching, ngabalukarkeun drift tegangan bangbarung transistor, sarta malah ngakibatkeun sirkuit pondok dina sirkuit. Data uji lembaga profésional nunjukkeun yén saatos platform granit terus-terusan kakeunaan suhu kamar sareng kalembaban lingkungan simulasi (23 ± 0,5 ℃, 45% ± 5% RH) salami 1000 jam, sékrési ion logam langkung handap tina wates deteksi (< 0,1ppb). Laju cacad wafers disababkeun ku kontaminasi ion logam nalika nganggo platform stainless steel tiasa saluhur 15% dugi ka 20%.
Dina watesan kontrol kontaminasi partikel, platform granit ogé ngalaksanakeun exceptionally ogé. Kamar bersih ngagaduhan syarat anu luhur pisan pikeun konsentrasi partikel anu ditunda dina hawa. Contona, dina ISO Kelas 1 cleanrooms, jumlah partikel 0.1μm diwenangkeun per méter kubik teu ngaleuwihan 10. Sanajan platform stainless steel geus undergone perlakuan polishing, éta masih bisa ngahasilkeun lebu logam atawa skala oksida peeling kaluar alatan kakuatan éksternal kayaning Geter parabot jeung operasi tanaga, nu bisa ngaganggu deteksi jalur optik atawa scratch beungeut wafer. Platform granit, kalayan struktur mineral anu padet (dénsitas ≥2.7g / cm³) sareng karasa luhur (6-7 dina skala Mohs), henteu rentan ngagem atanapi rusak nalika dianggo jangka panjang. Pangukuran anu diukur nunjukkeun yén aranjeunna tiasa ngirangan konsentrasi partikel anu ditunda dina hawa daérah alat deteksi ku langkung ti 40% dibandingkeun sareng platform stainless steel, sacara efektif ngajaga standar kelas kamar bersih.
Salian ciri bersih na, kinerja komprehensif platform granit ogé tebih ngaleuwihan nu tina stainless steel. Dina hal stabilitas termal, koefisien ékspansi termal na ngan (4-8) × 10⁻⁶ / ℃, kirang ti satengah tina stainless steel (ngeunaan 17 × 10⁻⁶ / ℃), nu bisa hadé ngajaga akurasi positioning pakakas deteksi lamun hawa di kamar bersih fluctuates. Karakteristik damping anu luhur (rasio damping> 0,05) tiasa gancang ngirangan geter alat sareng nyegah usik deteksi oyag. Résistansi korosi alam ngamungkinkeun éta tetep stabil sanajan kakeunaan pelarut photoresist, gas etching sareng bahan kimia sanés tanpa peryogi panyalindungan palapis tambahan.
Ayeuna, platform granit loba dipaké dina pabrik manufaktur wafer canggih. Data nunjukeun yen sanggeus nganut platform granit, laju misjudgment of deteksi partikel permukaan wafer geus turun ku 60%, daur calibration parabot geus diperpanjang ku tilu kali, sarta biaya produksi sakabéh geus turun ku 25%. Salaku industri semikonduktor ngalir ka arah precision luhur, platform granit, kalawan kaunggulan inti maranéhanana kayaning sékrési ion logam enol jeung polusi partikel low, bakal neruskeun nyadiakeun rojongan stabil sarta dipercaya pikeun inspeksi wafer, jadi hiji kakuatan penting nyetir kamajuan industri.
waktos pos: May-20-2025