Di laboratorium precision pikeun manufaktur chip, aya hiji sigana unremarkable "tukangeun layar pahlawan" - dasar mesin granit. Ulah nganggap enteng batu ieu. Éta konci pikeun mastikeun katepatan tés non-destructive tina wafer! Dinten ayeuna, hayu urang tingali kumaha ngajaga alat deteksi salawasna "horisontal sareng vertikal".
1. Dilahirkeun ku "gén stabil"
Granit sanés batu biasa. Struktur internalna sapertos "teka-teki jigsaw mineral". Kuarsa, feldspar sareng kristal sanésna disusun raket, kalayan kapadetan anu luhur pisan sareng ampir henteu aya rongga. Ieu sapertos ngawangun bumi kalayan beton bertulang, anu padet sareng stabil. Nalika alat-alat pamariksaan "linggih" dina éta, sanaos beuratna sababaraha ton, deformasi dasar granit tiasa diabaikan, ngan ukur sapersapuluh tina baja!
Malah leuwih impressive téh nya éta ampir teu sieun parobahan suhu. Bahan logam biasa condong "ngalegaan sareng beurat" nalika dipanaskeun sareng "kontrak sareng janten langkung ipis" nalika tiis. Sanajan kitu, granit sigana boga "magic suhu konstan". Lamun hawa fluctuates ku 1 ℃, ékspansi jeung kontraksi na ngan hiji-sapersarébu tina bulu manusa. Ieu kudu dicatet yén sanajan aya parobahan slight dina suhu laboratorium nguji, dasar granit bisa pageuh ngarojong parabot jeung nyegah levelness tina "nyimpang".
Kadua, téhnik ngolah "detil devilish"
Pikeun nyieun dasar granit leuwih akurat, insinyur padamelan "teknologi hideung" pikeun ngolah. Bayangkeun ngagosok batu kalayan "super sandpaper" anu didamel tina inten - ieu kumaha cara mesin ngagiling lima sumbu. Bakal grind beungeut granit jadi flatter ti eunteung dina tilu hambalan:
Ngagiling kasar: Kahiji, cabut blemishes permukaan batu jeung kontrol flatness ka hiji-dua puluh hiji bulu manusa.
grinding semi-halus: Perbaikan salajengna, kalawan flatness ngaronjat kana hiji-lima puluh tina bulu manusa.
Ngagiling halus: Tungtungna, éta digosok ku bubuk grinding ultra-halus, ngahontal flatness sapersarébu bulu manusa! Dina titik ieu, permukaan dasar granit sapertos "panggung horizontal" anu didamel khusus pikeun alat pamariksaan.
Sababaraha mounts high-end ogé boga "otak pinter" - tingkat precision tinggi diwangun-di kawas "saeutik penjaga" on tugas 24 jam sapoé. Sakali eta ngadeteksi yén alat ieu tilted ku 0,01 derajat (an Angle leutik batan ujung pulpen), alat hidrolik bakal langsung ngaktipkeun sarta "ngalempengkeun" alat dina 30 detik.
Katilu, desain akalna salajengna ningkatkeun stabilitas
The insinyur ogé racked brains maranéhanana dina struktur dasar mesin. Handapeunana dijieun wangun honeycomb héksagonal, kawas sarang lebah, nu teu ngan ngurangan beurat tapi ogé merata distributes tekanan. Nalika usik deteksi ngalir dina wafer nu, deformasi dina unggal titik dasarna ampir persis sarua, mastikeun yén rujukan horizontal tetep stabil sepanjang waktos.
Malah leuwih endah pisan yén hiji "shock absorber halimunan" - a piezoelektrik keramik shock absorber - dipasang antara base jeung taneuh. Bisa nangkep rupa-rupa geter mimitian ti 1 nepi ka 1000Hz kawas radar sarta langsung ngaluarkeun gelombang sabalikna pikeun "ngalawan" gangguan. Salaku conto, geter anu ditimbulkeun ku operasi mesin di gigireun atanapi guncangan kendaraan anu ngaliwat di luar sadayana "teu aya gunana" di payuneunana.
Data nyarios sorangan: Kumaha Kuatna Éfékna?
Dina aplikasi praktis, kinerja dasar granit sabenerna pikaheraneun:
Pamariksaan optik: Akurasi ngaidentipikasi cacad permukaan dina wafer parantos ningkat tina 3 mikron janten 1 mikron (1 mikron = hiji genep puluh tina rambut manusa).
Uji ultrasonik: Kasalahan dina ngukur ketebalan wafer parantos dikirangan ku tilu suku.
Pamakéan jangka panjang: Saatos operasi kontinyu salila sataun, parobahan levelness ampir negligible, bari basa mesin biasa geus lila jadi "hunched leuwih".
Tina kaunggulan bahan alami pikeun pamrosésan anu tepat sareng desain inovatif, dasar granit parantos kabuktosan kalayan "kakuatan" yén upami anjeun hoyong ngadeteksi chip sacara akurat, batu ieu leres-leres penting!
waktos pos: Jun-18-2025