Di laboratorium presisi pikeun ngadamel chip, aya "pahlawan di balik layar" anu sigana teu pati penting - dasar mesin granit. Tong nganggap enteng batu ieu. Éta mangrupikeun konci pikeun mastikeun akurasi uji coba wafer anu henteu ngaruksak! Dinten ieu, hayu urang tingali kumaha éta ngajaga alat deteksi salawasna "horizontal sareng vertikal".
1. Dilahirkeun kalawan "gén anu stabil"
Granit lain batu biasa. Struktur jerona siga "teka-teki jigsaw mineral" anu raket pisan. Kuarsa, feldspar, sareng kristal sanésna disusun raket, kalayan kapadetan anu luhur pisan sareng ampir teu aya rongga. Ieu sapertos ngawangun bumi nganggo beton bertulang, anu padet sareng stabil. Nalika alat pamariksaan "calik" di luhurna, sanaos beuratna sababaraha ton, deformasi dasar granit tiasa diabaikan, ngan ukur sapersapuluh tina baja!
Anu langkung narik ati nyaéta ampir teu sieun ku parobahan suhu. Bahan logam biasa condong "ngalegaan sareng naék beurat" nalika dipanaskeun sareng "nyusut sareng janten langkung ipis" nalika didinginkan. Nanging, granit sigana gaduh "sihir suhu anu tetep". Nalika suhu turun 1℃, ékspansi sareng kontraksi na ngan ukur sapersarébu rambut manusa. Perlu dicatet yén sanaos aya parobahan sakedik dina suhu laboratorium uji, dasar granit tiasa ngadukung alat-alat kalayan pageuh sareng nyegah tingkat "nyimpang".
Kadua, téknik ngolah "rincian jahat"
Pikeun ngajantenkeun dasar granit langkung akurat, para insinyur nganggo "téhnologi hideung" pikeun ngolahna. Bayangkeun ngagosok batu nganggo "amplas super" anu didamel tina inten - kieu cara kerja mesin panggiling lima sumbu. Mesin ieu bakal ngagiling permukaan granit supados langkung rata tibatan eunteung dina tilu léngkah:
Ngagiling kasar: Mimitina, miceun cacad permukaan batu teras kadalikeun ratana dugi ka saperdua puluh rambut manusa.
Panggilingan satengah lemes: Panyempurnaan salajengna, kalayan tingkat kerataan ningkat janten saperlima puluh rambut manusa.
Ngagiling halus: Pamungkas, éta dipoles ku bubuk giling anu lemes pisan, ngahontal rataan sapersarébu rambut manusa! Dina titik ieu, permukaan dasar granit sapertos "tahap horizontal" anu didamel khusus pikeun alat pamariksaan.
Sababaraha dudukan kelas luhur ogé gaduh "otak anu pinter" - tingkat presisi tinggi anu diwangun sapertos "penjaga alit" anu jaga 24 jam sadinten. Sakali ngadeteksi yén alat éta miring 0,01 derajat (sudut anu langkung alit tibatan ujung pulpen), alat hidrolik bakal langsung diaktipkeun sareng "ngaluruskeun" alat dina 30 detik.
Katilu, desain anu cerdas langkung ningkatkeun stabilitas
Para insinyur ogé geus mikirkeun struktur dasar mesin. Bagian handapna dijieun jadi bentuk sarang tawon héksagonal, kawas sarang tawon, anu teu ngan ukur ngurangan beurat tapi ogé nyebarkeun tekanan sacara rata. Nalika probe deteksi gerak dina wafer, deformasi di unggal titik dasar ampir sarua persis, mastikeun yén rujukan horizontal tetep stabil sepanjang waktos.
Anu langkung endah nyaéta "peredam kejut anu teu katingali" - peredam kejut keramik piezoelektrik - dipasang antara dasar sareng taneuh. Éta tiasa néwak rupa-rupa geteran ti mimiti 1 dugi ka 1000Hz sapertos radar sareng langsung ngaluarkeun gelombang tibalik pikeun "ngimbangan" gangguan éta. Salaku conto, geteran anu dihasilkeun ku operasi mesin di gigireun atanapi sentakan kendaraan anu ngaliwat di luar sadayana "teu aya gunana" di payuneunana.
Data geus cukup jelas: Sabaraha kuat pangaruhna?
Dina aplikasi praktis, kinerja dasar granit téh leres-leres héran:
Inspeksi optik: Akurasi pikeun ngaidentipikasi cacad permukaan dina wafer parantos ningkat tina 3 mikron janten 1 mikron (1 mikron = sapersagenep rambut manusa).
Uji ultrasonik: Kasalahan dina ngukur ketebalan wafer parantos dikirangan tilu perempat.
Panggunaan jangka panjang: Saatos operasi terus-terusan salami sataun, parobahan dina tingkatan ampir teu katingali, sedengkeun basis mesin biasa parantos lami janten "ngabungkuk".
Tina kaunggulan bahan alami dugi ka pamrosésan anu tepat sareng desain anu inovatif, dasar granit parantos kabuktian ku "kakuatan" na upami anjeun hoyong ngadeteksi serpihan sacara akurat, batu ieu leres-leres teu tiasa dipisahkeun!
Waktos posting: 18 Juni 2025