.
.
Dina dunya manufaktur semikonduktor anu tepat, uji coba wafer anu henteu ngaruksak mangrupikeun konci pikeun mastikeun kualitas chip. Dasar granit anu sigana teu penting sabenerna mangrupikeun "pahlawan anu teu dikenal" anu nangtukeun akurasi deteksi. Kumaha pangaruhna kana hasil tés? Artikel ieu bakal ngalaksanakeun analisis anu jero tina diménsi sapertos sipat bahan sareng desain struktural.
1. Pondasi anu Stabil: Kaunggulan alami granit mangrupikeun pondasi anu kuat pikeun presisi
1. Kinerja seismik anu saé pisan
Salila operasi alat uji non-destruktif wafer, rotasi motor sareng gerakan komponén mékanis sadayana bakal ngahasilkeun geteran. Upami geteran ieu henteu dipareuman sacara efektif, éta bakal ngaganggu akurasi uji sacara serius. Bagian jero granit raket pisan sareng kristal mineral sapertos kuarsa sareng feldspar. Struktur unikna masihan kapasitas panyerepan geteran alami, anu sanggup nyerep langkung ti 90% énergi geteran alat. Data pangukuran anu saleresna ti produsén semikonduktor nunjukkeun yén saatos nganggo dasar granit, amplitudo geteran alat deteksi parantos dikirangan tina 12μm janten 2μm, sacara efektif nyingkahan panyimpangan sinyal deteksi anu disababkeun ku geteran.
2. Koefisien ékspansi termal anu handap pisan
Salila prosés deteksi, faktor-faktor sapertos pemanasan alat sareng parobahan suhu lingkungan sadayana bakal mangaruhan stabilitas dasar mesin. Bahan biasa mekar sacara signifikan nalika dipanaskeun, tapi koefisien ékspansi termal granit ngan ukur 1/5 tina baja. Sanaos suhu lingkungan turun 10℃, deformasi na tiasa dipaliré. Ieu ngamungkinkeun dasar granit pikeun nyayogikeun platform rujukan anu stabil pikeun alat pamariksaan, mastikeun yén posisi relatif antara probe pamariksaan sareng wafer tetep akurat sepanjang waktos sareng nyingkahan kasalahan pamariksaan anu disababkeun ku deformasi termal.
Kadua, desain anu tepat: Optimasi struktural langkung ningkatkeun reliabilitas deteksi
Garansi pamrosésan anu presisi sareng rata
Dasar granit kualitas luhur diolah ku téknologi CNC linkage lima sumbu anu canggih, kalayan tingkat kerataan ±0.5μm/m, nyayogikeun rujukan pamasangan ultra-datar pikeun alat pamariksaan. Dina pamariksaan wafer, vertikalitas sareng tingkatan probe pamariksaan penting pisan pikeun hasil pamariksaan. Dasar granit presisi tinggi tiasa mastikeun posisi probe anu tepat, ngajantenkeun data pamariksaan langkung akurat sareng tiasa dipercaya.
2. Adaptasi struktural anu disaluyukeun
Basis mesin granit tiasa disaluyukeun pikeun rupa-rupa alat uji non-destruktif wafer sareng sarat prosés. Salaku conto, pikeun minuhan sarat alat pamariksaan optik pikeun pantulan cahaya, permukaan dasar mesin tiasa dirawat khusus; Pikeun minuhan sarat pamasangan alat uji ultrasonik, dasar tiasa didamel sateuacanna nganggo liang pamasangan sareng baki kabel anu tepat, ngamungkinkeun pamasangan alat anu gancang sareng akurat sareng ngirangan panyimpangan deteksi anu disababkeun ku kasalahan pamasangan.
Iii. Stabilitas jangka panjang: Ngurangan leungitna presisi anu disababkeun ku pangropéa alat
Granit mibanda karasana anu luhur sareng résistansi kana goresan anu kuat, kalayan karasana Mohs 6 dugi ka 7, nyaéta tilu kali résistansi kana goresan baja biasa. Salila operasi pamariksaan jangka panjang, permukaan dasar mesin henteu gampang goresan sareng salawasna tiasa ngajaga kaayaan presisi anu saé. Sabalikna, dasar anu didamel tina bahan sanés tiasa nyababkeun parobahan dina rujukan pamasangan alat kusabab goresan, sahingga mangaruhan akurasi deteksi sareng meryogikeun kalibrasi sareng pangropéa anu sering. Umur layanan anu panjang sareng stabilitas dasar granit anu luhur sacara efektif ngirangan frékuénsi pangropéa alat sareng nurunkeun résiko leungitna presisi anu tiasa kajantenan salami prosés pangropéa.
Tina tahan goncangan, tahan panas dugi ka desain anu presisi, unggal fitur dasar granit ngajaga akurasi uji wafer anu henteu ngaruksak. Dina jaman manufaktur semikonduktor ayeuna anu ngudag presisi pamungkas, milih dasar granit anu kualitasna luhur sapertos nambihan lapisan asuransi anu padet kana akurasi sareng reliabilitas hasil tés.
Waktos posting: 18 Juni 2025