IDina industri manufaktur semikonduktor, akurasi alat pamariksaan wafer penting pisan pikeun mastikeun kualitas sirkuit terpadu. Basis mesin granit presisi tinggi, sapertos anu disayogikeun ku ZHHIMG®, maénkeun peran penting dina ningkatkeun kinerja alat sapertos kitu. Kieu carana aranjeunna ngadamel bédana.
Stabilitas Diménsi Anu Luar Biasa Granit mibanda koéfisién ékspansi termal anu handap pisan, sakitar (4–8)×10⁻⁶/℃, sacara signifikan langkung handap tibatan seueur logam. Dina lingkungan pabrik semikonduktor anu dikontrol ketat, dimana fluktuasi suhu anu alit ogé tiasa nyababkeun kasalahan pangukuran, dasar mesin granit tetep stabil. Stabilitas ieu mastikeun yén posisi komponén dina alat pamariksaan wafer tetep akurat, nyegah panyimpangan anu disababkeun ku termal anu tiasa mangaruhan katepatan hasil pamariksaan.

Peredam Getaran Unggul Lantai produksi sering dieusi ku geteran tina rupa-rupa sumber. Sipat peredam anu aya dina granit, kalayan rasio peredam 0,05–0,1, sacara efektif nyerep sareng ngaleungitkeun geteran ieu. Pikeun inspeksi wafer
Éksi, anu meryogikeun pencitraan résolusi luhur sareng bacaan sénsor anu tepat, réduksi geteran anu disayogikeun ku dasar granit teu aya bandinganna. Éta ngaminimalkeun gangguan anu tiasa ngaburamkeun gambar atanapi ngaganggu data sénsor, ngamungkinkeun alat pikeun néwak inpormasi anu jelas sareng akurat ngeunaan permukaan wafer sareng struktur internal.
Kaku jeung Tahan Aus Anu Luhur Kalayan kapadetan sakitar 3100 kg/m³, dasar mesin granit ZHHIMG® nawiskeun kaku anu luar biasa. Éta tiasa ngadukung komponén beurat tina alat pamariksaan wafer tanpa cacad, ngajaga alignment sistem optik sareng mékanis. Salaku tambahan, karasana granit anu luhur (skala Mohs 6–7) sareng tahan aus anu saé mastikeun yén permukaan dasar mesin tetep rata sareng lemes kana waktosna. Konsistensi ieu penting pikeun akurasi jangka panjang, sabab sagala karusakan atanapi deformasi dina dasar laun-laun tiasa ngirangan presisi alat.
Inertitas Kimia Pabrik semikonduktor ngalibatkeun paparan kana rupa-rupa bahan kimia. Inertitas kimia granit ngajantenkeun tahan kana korosi tina zat-zat ieu. Sipat ieu ngajaga integritas dasar mesin, nyegah karusakan anu disababkeun ku bahan kimia anu tiasa mangaruhan stabilitas sareng akurasi alat pamariksaan.
Kasimpulanana, dasar mesin granit presisi tinggi sanés ngan ukur komponén tapi ogé konci anu ngadukung pikeun ngahontal sarat akurasi anu pas pikeun alat pamariksaan wafer. Nalika milih dasar mesin granit, pilih panyadia anu dipercaya sapertos ZHHIMG®. Kalayan sababaraha sertifikasi sareng komitmen kana kualitas, ZHHIMG® mastikeun yén unggal dasar mesin granit nganteurkeun reliabilitas sareng kinerja anu diperyogikeun pikeun manufaktur semikonduktor canggih.
Waktos posting: 03-Jun-2025
