platform precision granit, kalawan rigidity tinggi maranéhanana, koefisien ékspansi low, kinerja damping alus teuing jeung sipat anti magnét alam, boga nilai aplikasi irreplaceable dina manufaktur high-end jeung widang panalungtikan ilmiah dimana precision jeung stabilitas anu kacida nungtut. Ieu mangrupikeun skenario aplikasi inti sareng kaunggulan téknis:
I. Widang parabot processing Ultra-precision
Parabot manufaktur semikonduktor
Skenario aplikasi: méja workpiece mesin Lithography, base mesin dicing wafer, platform positioning parabot bungkusan.
nilai teknis:
Koéfisién ékspansi termal granit ngan ukur (0.5-1.0) × 10⁻⁶ / ℃, anu tiasa nolak turun naek suhu nalika paparan skala nano tina mesin litografi (kasalahan pamindahan <0.1nm dina lingkungan ± 0.1 ℃).
Struktur mikro-pori internal ngabentuk damping alam (rasio damping 0,05 ka 0,1), suppressing Geter (amplitudo <2μm) salila motong-speed tinggi ku mesin dicing sarta mastikeun yén roughness ujung Ra tina motong wafer kirang ti 1μm.
2. Mesin Penggilingan Precision sareng Mesin Ukur Koordinat (CMM)
Kasus aplikasi:
Dasar mesin ukur tilu koordinat ngadopsi struktur granit integral, kalayan kerataan ± 0.5μm / m. Digabungkeun sareng rel pituduh ngambang hawa, éta ngahontal akurasi gerakan tingkat nano (kalikeun akurasi posisi ± 0.1μm).
The worktable tina mesin grinding optik adopts struktur komposit tina granit jeung pérak baja. Nalika grinding kaca K9, waviness permukaan kirang ti λ / 20 (λ = 632.8nm), minuhan sarat processing ultra-lemes tina lenses laser.
ii. Widang Optik sareng Photonics
Teleskop astronomi sareng sistem laser
Aplikasi biasa:
Platform pangrojong permukaan cerminan teleskop radio ageung ngadopsi struktur honeycomb granit, anu hampang dina beurat diri (dénsitas 2.7g / cm³) sareng gaduh résistansi geter angin anu kuat (deformasi <50μm dina angin tingkat 10).
Platform optik tina interferometer laser ngagunakeun granit mikro-porous. pemantul dibenerkeun ku adsorption vakum, kalawan kasalahan flatness kirang ti 5nm, mastikeun stabilitas ultra-precision percobaan optik kayaning deteksi gelombang gravitasi.
2. Precision processing komponén optik
Kauntungan teknis:
Perméabilitas magnét sareng konduktivitas listrik tina platform granit caket sareng nol, ngahindarkeun pangaruh gangguan éléktromagnétik dina prosés precision sapertos polishing ion beam (IBF) sareng polishing magnetorheological (MRF). Nilai PV akurasi bentuk permukaan tina lénsa asphical olahan bisa ngahontal λ / 100.
iii. Aerospace jeung Inspection Precision
Platform inspeksi komponén Aviation
Skenario aplikasi: inspeksi tilu diménsi tina wilah pesawat, pangukuran bentuk jeung posisi tolerances komponén struktural alloy aluminium penerbangan.
Kinerja konci:
Beungeut platform granit dirawat ku korosi electrolytic pikeun ngabentuk pola rupa (kalawan kasarna Ra 0.4-0.8μm), cocog pikeun panyilidikan pemicu-precision tinggi, sarta kasalahan detecting profil sabeulah kirang ti 5μm.
Bisa tahan beban leuwih 200kg komponén aviation, sarta flatness robah sanggeus pamakéan jangka panjang kirang ti 2μm / m, minuhan sarat pangropéa precision of Grade 10 dina industri aerospace.
2. Calibration komponén navigasi inersia
Syarat Téknis: Kalibrasi statik alat inersia sapertos giroskop sareng accelerometers merlukeun platform rujukan ultra-stabil.
Solusi: Platform granit digabungkeun sareng sistem isolasi geter aktip (frekuensi alami <1Hz), ngahontal kalibrasi presisi tinggi tina stabilitas enol-offset komponén inersia <0.01°/h dina lingkungan kalayan akselerasi geter < 1×10⁻⁴g.
iv. Nanotéhnologi jeung Biomédis
Scanning probe microscope (SPM) platform
Fungsi inti: Salaku dasar pikeun mikroskop gaya atom (AFM) jeung scanning tunneling mikroskop (STM), éta perlu diisolasi tina vibrations lingkungan jeung drift termal.
Indikator kinerja:
Platform granit, dina kombinasi kalayan suku isolasi Geter pneumatic, bisa ngurangan laju transmisi vibrations éksternal (1-100Hz) mun kirang ti 5%, achieving atom-tingkat Imaging of AFM di lingkungan atmosfir (resolusi <0.1nm).
Sensitipitas suhu kirang ti 0.05μm / ℃, anu nyumponan sarat pikeun observasi skala nano sampel biologis dina lingkungan suhu konstan (37 ℃ ± 0,1 ℃).
2. parabot bungkusan Biochip
Kasus aplikasi: Platform alignment precision tinggi pikeun chip sequencing DNA ngadopsi rel pituduh ngambang hawa granit, kalayan akurasi posisi ± 0.5μm, mastikeun beungkeutan sub-micron antara saluran mikrofluida sareng éléktroda deteksi.
V. Munculna Skenario Aplikasi
Basis alat komputasi kuantum
tantangan teknis: manipulasi Qubit merlukeun hawa pisan low (tingkat mK) jeung lingkungan mékanis ultra-stabil.
Solusi: Sifat ékspansi termal pisan low tina granit (laju ékspansi <1ppm ti -200 ℃ nepi ka suhu kamar) bisa cocog jeung ciri kontraksi tina ultra-low hawa superconducting magnet, mastikeun akurasi alignment salila bungkusan tina chip kuantum.
2. Sistem Éléktron Beam Lithography (EBL).
Kinerja konci: Harta insulasi tina platform granit (resistivity> 10¹³Ω · m) nyegah scattering éléktron beam. Digabungkeun sareng drive spindle éléktrostatik, éta ngahontal tulisan pola litografi presisi tinggi kalayan rubak garis nano (<10nm).
Ringkesan
Aplikasi tina platform precision granit geus ngalegaan ti mesin precision tradisional kana widang motong-ujung kayaning nanotéhnologi, fisika kuantum, sarta biomedicine. Daya saing inti na aya dina gandeng jero sipat bahan sareng syarat rékayasa. Dina mangsa nu bakal datang, kalawan integrasi téknologi tulangan komposit (kayaning graphene-granit nanocomposites) jeung téhnologi sensing calakan, platform granit bakal megatkeun ngaliwatan arah akurasi tingkat-atom, stabilitas rentang-suhu pinuh, sarta integrasi multi-fungsi, jadi inti komponén dasar manufaktur ultra-precision ngarojong generasi saterusna.
waktos pos: May-28-2025