Bahan granit loba dipaké dina industri semikonduktor alatan ciri-cirina anu alus, saperti stabilitas anu luhur, ékspansi termal anu handap, sarta résistansi anu luhur kana korosi. Sipat-sipat ieu ngajadikeun granit bahan anu idéal pikeun ngawangun komponén presisi tinggi dina sistem transfer wafer.
Dina prosés manufaktur semikonduktor, sistem transfer wafer maénkeun peran penting dina ngangkut wafer dina sababaraha tahapan prosés manufaktur. Presisi sareng akurasi mangrupikeun sarat penting pikeun sistem ieu sabab panyimpangan sakedik ogé tiasa ngabahayakeun sakumna prosés. Ku alatan éta, komponén dina sistem transfer wafer kedah didamel tina bahan anu kualitasna luhur, sareng granit nyumponan kriteria éta.
Sababaraha bagian tina sistem transfer wafer anu didamel tina bahan granit kalebet:
1. Méja Chuck Vakum
Méja vakum chuck dianggo pikeun nahan wafer salami prosés, sareng éta kedah gaduh permukaan anu stabil pikeun mastikeun wafer henteu ruksak. Granit mangrupikeun bahan anu idéal pikeun ngadamel méja ieu sabab gaduh permukaan anu datar sareng henteu keropos anu nyayogikeun stabilitas sareng presisi anu luhur. Salaku tambahan, granit gaduh koefisien ékspansi termal anu handap, janten tahan kana parobahan suhu anu tiasa nyababkeun parobahan diménsi dina wafer.
2. Tahap Ngabawa Udara
Tahap anu ngandung hawa dianggo pikeun ngangkut wafer ngaliwatan sababaraha tahapan prosés manufaktur. Tahap ieu direkayasa pikeun nyayogikeun gerakan anu tanpa gesekan, anu meryogikeun presisi sareng stabilitas anu luhur. Granit dianggo dina aplikasi ieu sabab mangrupikeun batu anu kaku sareng teuas, sareng tahan kana deformasi sareng karusakan kana waktosna.
3. Pituduh Gerak Linier
Pituduh gerak linier dianggo pikeun nungtun tahapan bantalan hawa, sareng éta kedah diposisikan sacara akurat pikeun ngaminimalkeun kasalahan. Granit dianggo pikeun ngawangun pituduh ieu sabab gaduh stabilitas sareng kakuatan mékanis anu saé pisan. Bahanna ogé tahan korosi, anu mastikeun umur panjang sistem pituduh.
4. Peralatan Metrologi
Alat-alat metrologi dianggo pikeun ngukur diménsi sareng sipat wafer salami prosés manufaktur. Granit mangrupikeun bahan anu idéal pikeun ngawangun alat ieu sabab gaduh kaku anu luhur, ékspansi anu handap, sareng deformasi minimal dina beban. Leuwih ti éta, stabilitas termal granit mastikeun yén alat metrologi tetep stabil sareng akurat kana waktosna.
Kasimpulanana, industri semikonduktor ngandelkeun kana katepatan sareng akurasi, sareng bahan granit parantos kabuktosan tiasa dipercaya sareng stabil dina prosés manufaktur. Kalayan seueur komponén penting dina sistem transfer wafer anu meryogikeun stabilitas anu luhur, katepatan, sareng ékspansi termal anu handap, para insinyur parantos nganggo bahan granit pikeun minuhan sarat penting ieu.
Waktos posting: 19-Mar-2024