Bahan granit loba dipaké dina industri semikonduktor alatan ciri alus teuing, kayaning stabilitas tinggi, ékspansi termal low, sarta lalawanan tinggi ka korosi.Sipat ieu ngajadikeun granit bahan idéal pikeun ngawangun komponén precision tinggi dina sistem mindahkeun wafer.
Dina prosés manufaktur semikonduktor, sistem transfer wafer muterkeun hiji peran kritis dina transporting wafers sakuliah hambalan béda tina prosés manufaktur.Katepatan sareng akurasi mangrupikeun syarat penting pikeun sistem ieu kusabab panyimpangan sakedik tiasa ngabahayakeun sadayana prosés.Ku alatan éta, komponén dina sistem mindahkeun wafer kudu dijieun tina bahan kualitas luhur, sarta granit meets kriteria maranéhanana.
Sababaraha bagian tina sistem transfer wafer anu didamel tina bahan granit kalebet:
1. Vakum Amrik Table
Méja cuk vakum dipaké pikeun nahan wafer salila prosés, sarta eta kudu boga permukaan stabil pikeun mastikeun wafer nu teu ruksak.Granit mangrupa bahan idéal pikeun nyieun tabel ieu sabab boga datar, permukaan non-porous nu nyadiakeun stabilitas tinggi na precision.Salaku tambahan, granit gaduh koefisien ékspansi termal anu handap, sahingga tahan kana parobahan suhu anu tiasa nyababkeun parobahan dimensi dina wafer.
2. Hawa-bearing Panggung
Tahap hawa-bearing dipaké pikeun ngangkut wafer ngaliwatan tahapan béda tina prosés manufaktur.Panggung direkayasa pikeun nyayogikeun gerakan tanpa gesekan, anu peryogi presisi sareng stabilitas anu luhur.Granit dianggo dina aplikasi ieu sabab mangrupikeun batu anu kaku sareng keras, sareng éta nolak deformasi sareng ngagem kana waktosna.
3. Panungtun Gerak Linier
Panungtun gerak linier dipaké pikeun nungtun panggung hawa-bearing, sarta maranéhanana kudu akurat diposisikan pikeun ngaleutikan kasalahan.Granit dipaké pikeun ngawangun pituduh ieu sabab boga stabilitas mékanis alus teuing jeung kakuatan.Bahanna ogé tahan korosi, anu ngajamin umur panjang sistem pituduh.
4. Parabot Metrology
Alat metrologi dianggo pikeun ngukur diménsi sareng sipat wafer nalika prosés manufaktur.Granit mangrupa bahan idéal pikeun ngawangun parabot ieu sabab mibanda stiffness tinggi, ékspansi low, sarta deformasi minimal dina beban.Sumawona, stabilitas termal granit mastikeun yén alat métrologi tetep stabil sareng akurat dina waktosna.
Dina kacindekan, industri semikonduktor ngandelkeun precision jeung akurasi, sarta bahan granit geus kabuktian jadi kacida dipercaya jeung stabil dina prosés manufaktur.Kalawan loba komponén kritis dina sistem mindahkeun wafer merlukeun stabilitas tinggi, precision, sarta ékspansi termal low, insinyur geus tos ka bahan granit pikeun minuhan sarat kritis ieu.
waktos pos: Mar-19-2024