Dina ranté tepat manufaktur semikonduktor, sistem mindahkeun wafer téh kawas "lifeline tina garis produksi chip", sarta stabilitas sarta akurasi langsung nangtukeun laju ngahasilkeun chip. Generasi anyar sistem transfer wafer sacara révolusionér ngagabungkeun motor linier sareng dasar granit, sareng kaunggulan unik tina bahan granit mangrupikeun kode inti pikeun muka konci transmisi kinerja tinggi.
.
base granit: Ngawangun "pondasi batu-padet" pikeun transmisi stabil
Granit, parantos ngalaman ratusan juta taun perbaikan géologis, gaduh kristalisasi mineral internal anu padet sareng seragam. Ciri alam ieu ngajadikeun eta bahan dasar idéal pikeun sistem mindahkeun wafer. Dina lingkungan kompléks cleanrooms semikonduktor, granit, kalawan koefisien ultra-low na ékspansi termal (ngan 5-7 × 10⁻⁶ / ℃), bisa nolak panas dihasilkeun salila operasi alat jeung pangaruh parobahan suhu lingkungan, mastikeun stabilitas ukuran dasar sarta Ngahindarkeun simpangan jalur transmisi disababkeun ku deformasi termal. Kinerja damping geter anu luar biasa tiasa gancang nyerep geter mékanis anu dibangkitkeun nalika ngamimitian, mareuman sareng akselerasi motor linier, ogé gangguan éksternal anu dibawa ku operasi alat-alat sanés di bengkel, nyayogikeun platform anu stabil sareng "enol oyag" pikeun pangiriman wafer. .
Samentara éta, stabilitas kimiawi granit ensures nu teu corrode atawa karat di bengkel semikonduktor mana asam jeung alkali réagen anu volatile jeung kabersihan tinggi diperlukeun, sahingga Ngahindarkeun dampak dina akurasi transmisi alatan sepuh bahan atawa adsorption polutan. Ciri permukaan lemes jeung padet bisa leuwih éféktif ngurangan adhesion lebu, minuhan standar ketat bebas lebu kamar beresih jeung ngaleungitkeun résiko kontaminasi wafer tina akar. .
Pangaruh "kemitraan emas" motor linier sareng granit
Motor linier, kalawan ciri maranéhanana euweuh clearance transmisi mékanis, akselerasi tinggi jeung speed respon tinggi, endow transmisi wafer kalawan kaunggulan "gancang, akurat tur stabil". Dasar granit nyayogikeun platform dukungan anu padet sareng dipercaya pikeun éta. Duanana gawé bareng pikeun ngahontal kabisat dina pagelaran. Nalika motor linier ngajalankeun pamawa wafer pikeun ngajalankeun dina lagu dasar granit, rigidity kuat sarta stabilitas basa mastikeun transmisi efisien tina gaya nyetir motor, Ngahindarkeun leungitna gaya atawa lag transmisi disababkeun ku deformasi basa. .
Didorong ku paménta pikeun precision nanoscale, motor linier tiasa ngahontal kontrol kapindahan sub-micron-tingkat. Karakteristik pamrosésan-precision luhur tina basa granit (kalayan kasalahan flatness dikawasa dina ± 1μm) sampurna cocog kontrol tepat motor linier, babarengan mastikeun yén kasalahan positioning salila pangiriman wafer kirang ti ± 5μm. Naha éta shuttling-speed tinggi diantara rupa parabot prosés atawa parkir tepat pikeun handover wafer, kombinasi motor linier jeung basa granit bisa mastikeun "enol simpangan jeung enol jitter" dina transmisi wafer. .
Verifikasi prakték industri: Perbaikan ganda dina efisiensi sareng tingkat ngahasilkeun
Saatos ningkatkeun sistem transfer wafer na, perusahaan semikonduktor global ngarah ngadopsi motor linier + solusi basa granit, anu ningkatkeun efisiensi transfer wafer ku 40%, ngirangan tingkat kajadian kasalahan sapertos tabrakan sareng ngimbangan nalika prosés transfer ku 85%, sareng ningkatkeun tingkat ngahasilkeun chip ku 6%. Di tukangeun data aya jaminan stabilitas transmisi anu disayogikeun ku dasar granit sareng pangaruh sinergi anu gancang sareng tepat tina motor linier, anu sacara signifikan ngirangan leungitna sareng kasalahan dina prosés pangiriman wafer. .
Tina sipat bahan dugi ka manufaktur presisi, tina kaunggulan kinerja dugi ka verifikasi praktis, kombinasi motor linier sareng dasar granit parantos netepkeun deui standar sistem transfer wafer. Dina mangsa nu bakal datang nalika téhnologi semikonduktor maju kana prosés 3nm jeung 2nm, bahan granit pasti bakal terus nyuntik dorongan kuat kana ngembangkeun industri urang jeung kaunggulan irreplaceable maranéhanana.
waktos pos: May-14-2025