Dina ranté manufaktur semikonduktor anu tepat, sistem transfer wafer sapertos "garis hirup jalur produksi chip", sareng stabilitas sareng akurasina sacara langsung nangtukeun tingkat hasil chip. Generasi énggal sistem transfer wafer sacara révolusionér ngagabungkeun motor linier sareng dasar granit, sareng kaunggulan unik bahan granit mangrupikeun kode inti pikeun muka konci transmisi kinerja tinggi.
.
Dasar granit: Ngawangun "pondasi anu kokoh sapertos batu" pikeun transmisi anu stabil
Granit, anu parantos ngalaman ratusan juta taun pamurnian géologis, ngagaduhan kristalisasi mineral internal anu padet sareng seragam. Ciri alami ieu ngajantenkeun éta bahan dasar anu idéal pikeun sistem transfer wafer. Dina lingkungan anu rumit di kamar bersih semikonduktor, granit, kalayan koefisien ékspansi termal anu ultra-rendah (ngan ukur 5-7 × 10⁻⁶/℃), tiasa nolak panas anu dihasilkeun nalika operasi alat sareng pangaruh parobahan suhu lingkungan, mastikeun stabilitas ukuran dasar sareng nyingkahan panyimpangan jalur transmisi anu disababkeun ku deformasi termal. Kinerja redaman geter anu luar biasa tiasa gancang nyerep geter mékanis anu dihasilkeun nalika ngamimitian, mareuman sareng akselerasi motor linier, ogé gangguan éksternal anu dibawa ku operasi alat sanés di bengkel, nyayogikeun platform anu stabil kalayan "nol goyang" pikeun transmisi wafer.
Samentara éta, stabilitas kimiawi granit mastikeun yén éta henteu korosi atanapi karat dina bengkel semikonduktor dimana réagen asam sareng alkali gampang nguap sareng kabersihan anu luhur diperyogikeun, ku kituna nyingkahan dampak kana akurasi transmisi kusabab sepuh bahan atanapi adsorpsi polutan. Karakteristik permukaan anu lemes sareng padet tiasa langkung efektif ngirangan adhesi lebu, minuhan standar bébas lebu anu ketat pikeun kamar bersih sareng ngaleungitkeun résiko kontaminasi wafer tina akar.
Pangaruh "kemitraan emas" tina motor linier sareng granit
Motor linier, kalayan ciri-cirina nyaéta teu aya jarak transmisi mékanis, akselerasi anu luhur sareng kecepatan réspon anu luhur, masihan transmisi wafer kaunggulan "gancang, akurat sareng stabil". Dasar granit nyayogikeun platform dukungan anu padet sareng tiasa dipercaya. Duanana damel babarengan pikeun ngahontal lompatan dina kinerja. Nalika motor linier ngadorong pembawa wafer pikeun dijalankeun dina jalur dasar granit, kaku sareng stabilitas dasar anu kuat mastikeun transmisi gaya panggerak motor anu efisien, nyingkahan leungitna gaya atanapi lag transmisi anu disababkeun ku deformasi dasar.
Didorong ku paménta pikeun katepatan skala nano, motor linier tiasa ngahontal kontrol pamindahan tingkat sub-mikron. Karakteristik pamrosésan presisi tinggi tina dasar granit (kalayan kasalahan kerataan anu dikontrol dina ±1μm) cocog pisan sareng kontrol anu tepat tina motor linier, sacara babarengan mastikeun yén kasalahan posisi salami transmisi wafer kirang ti ±5μm. Naha éta shuttling kecepatan tinggi di antara rupa-rupa alat prosés atanapi parkir anu tepat pikeun serah terima wafer, kombinasi motor linier sareng dasar granit tiasa mastikeun "nol deviasi sareng nol jitter" dina transmisi wafer.
Verifikasi prakték industri: Peningkatan ganda dina efisiensi sareng tingkat hasil
Saatos ningkatkeun sistem transfer waferna, perusahaan semikonduktor global anu unggul ngadopsi solusi motor linier + dasar granit, anu ningkatkeun efisiensi transfer wafer ku 40%, ngirangan tingkat kajadian gangguan sapertos tabrakan sareng offset salami prosés transfer ku 85%, sareng ningkatkeun tingkat hasil chip sacara umum ku 6%. Di tukangeun data aya jaminan stabilitas transmisi anu disayogikeun ku dasar granit sareng pangaruh sinergi motor linier anu gancang sareng tepat, anu sacara signifikan ngirangan karugian sareng kasalahan dina prosés transmisi wafer.
Tina sipat bahan dugi ka manufaktur presisi, tina kaunggulan kinerja dugi ka verifikasi praktis, kombinasi motor linier sareng dasar granit parantos ngarobih standar sistem transfer wafer. Ka hareupna nalika téknologi semikonduktor maju ka arah prosés 3nm sareng 2nm, bahan granit pasti bakal teras nyuntik dorongan anu kuat kana pamekaran industri kalayan kaunggulan anu teu tiasa digentos.
Waktos posting: 14 Méi-2025