Dina prosés industri semikonduktor nuju prosés manufaktur nanoscale, motong wafer, salaku tumbu konci dina manufaktur chip, boga syarat pisan ketat pikeun stabilitas alat. Dasar granit, kalawan résistansi Geter beredar sarta stabilitas termal, geus jadi komponén inti alat motong wafer, nyadiakeun jaminan dipercaya pikeun achieving-precision tinggi na-efisiensi tinggi processing wafer. .
Damping tinggi jeung ciri anti Geter: Safeguarding akurasi motong nano-tingkat
Nalika alat motong wafer dioperasikeun, rotasi-speed tinggi spindle, Geter frékuénsi luhur tina alat motong, sarta Geter lingkungan dihasilkeun ku alat sabudeureun sadayana bakal boga dampak signifikan dina akurasi motong. Kinerja damping tina basa logam tradisional diwatesan, sahingga hese gancang atenuate vibrations, nu ngabalukarkeun jitter micron-tingkat alat motong sarta langsung ngabalukarkeun defects kayaning ujung chipped sarta retakan on wafers. Ciri damping tinggi tina dasar granit geus fundamentally direngsekeun masalah ieu. .
Kristal mineral internal tina granit anu raket interwoven, ngabentuk struktur dissipation énergi alam. Nalika geter dikirimkeun ka dasarna, mikrostruktur internalna tiasa gancang ngarobih énergi geter kana énergi termal, ngahontal atenuasi geter anu efisien. Data ékspérimén nunjukkeun yén dina lingkungan geter anu sami, dasar granit tiasa ngirangan amplitudo geter langkung ti 90% dina 0,5 detik, sedengkeun dasar logam butuh 3 dugi ka 5 detik. Kinerja damping beredar ieu ensures yén alat motong tetep stabil salila prosés motong nanoscale, guaranteeing ujung lemes tina motong wafer tur éféktif ngurangan laju chipping. Salaku conto, dina prosés motong wafer 5nm, alat-alat anu nganggo dasar granit tiasa ngontrol ukuran chipping dina 10μm, anu langkung luhur 40% tibatan alat-alat anu nganggo basa logam. .
Koéfisién ultra-low ékspansi termal: Tahan kana pangaruh fluctuations hawa
Salila prosés motong wafer, panas dihasilkeun ku gesekan tina parabot motong, dissipation panas tina operasi jangka panjang alat-alat, sarta parobahan suhu lingkungan workshop sadayana tiasa ngabalukarkeun deformasi termal sahiji komponén parabot. Koéfisién ékspansi termal bahan logam relatif luhur (kira-kira 12 × 10⁻⁶ / ℃). Lamun hawa fluctuates ku 5 ℃, basa logam 1-méteran-lila bisa ngalaman deformasi 60μm, ngabalukarkeun posisi motong pikeun mindahkeun sarta serius mangaruhan akurasi motong. .
Koéfisién ékspansi termal tina dasar granit ngan (4-8) × 10⁻⁶ / ℃, nu kirang ti sapertilu tina bahan logam. Dina parobahan suhu anu sarua, parobahan dimensi na ampir bisa dipaliré. Data diukur tina hiji perusahaan manufaktur semikonduktor tangtu nunjukkeun yén salila 8 jam kontinyu-inténsitas tinggi operasi motong wafer, nalika hawa ambient fluctuates ku 10 ℃, posisi motong offset pakakas kalawan basa granit nyaeta kirang ti 20μm, sedengkeun nu alat jeung basa logam ngaleuwihan 60μm. Kinerja termal anu stabil ieu ngajamin yén posisi relatif antara alat motong sareng wafer tetep pas sepanjang waktos. Malah dina operasi kontinyu jangka panjang atawa parobahan drastis dina suhu lingkungan, konsistensi motong akurasi bisa dijaga. .
Kaku sareng résistansi ngagem: Mastikeun operasi stabil jangka panjang alat
Salian kaunggulan résistansi Geter sareng stabilitas termal, kaku anu luhur sareng résistansi ngagem tina dasar granit salajengna ningkatkeun réliabilitas alat motong wafer. Granit ngabogaan karasa 6 nepi ka 7 dina skala Mohs sarta kakuatan compressive ngaleuwihan 120MPa. Bisa tahan tekanan rongkah jeung gaya dampak salila prosés motong sarta henteu rawan deformasi. Samentara éta, struktur padetna masihan résistansi ngagem anu saé. Malah dina mangsa operasi motong sering, beungeut dasarna teu rawan mun teu ngagem, mastikeun yén parabot ngajaga operasi-precision tinggi pikeun lila. .
Dina aplikasi praktis, loba usaha manufaktur wafer geus nyata ningkat ngahasilkeun produk jeung efisiensi produksi ku nganut parabot motong kalawan basa granit. Data ti foundry ngarah global nunjukeun yen sanggeus ngawanohkeun alat-alat dasar granit, ngahasilkeun motong wafer geus ngaronjat tina 88% nepi ka leuwih 95%, siklus pangropéa parabot geus diperpanjang ku tilu kali, éféktif ngurangan biaya produksi jeung enhancing daya saing pasar. .
Dina kacindekan, dasar granit, kalawan résistansi Geter na alus teuing, stabilitas termal, rigidity tinggi na lalawanan maké, nyadiakeun jaminan kinerja komprehensif pikeun alat motong wafer. Salaku kamajuan téhnologi semikonduktor nuju precision luhur, basa granit bakal maénkeun peran leuwih signifikan dina widang manufaktur wafer, promosi ngembangkeun inovatif kontinyu tina industri semikonduktor.
waktos pos: May-20-2025