Manufaktur semikonduktor: Dina prosés manufaktur chip, prosés photolithography perlu mindahkeun pola circuit persis kana wafer nu. Dasar granit tina sumbu tunggal hawa floating modul gerak ultra-precision bisa nyadiakeun positioning precision tinggi jeung rojongan stabil pikeun tabel wafer dina parabot lithography. Salaku conto, ASML sareng pabrik mesin lithografi anu terkenal sacara internasional nganggo modul gerak ngambang hawa dasar granit dina alat-alat luhurna, anu tiasa ngontrol akurasi posisi wafer dina tingkat nanometer pikeun mastikeun katepatan pola litografi, ku kituna ningkatkeun integrasi sareng kinerja chip.
Widang ukur precision: CMM mangrupakeun alat ukur precision ilahar dipaké dina produksi industri, nu dipaké pikeun ngukur ukuran, bentuk jeung akurasi posisi workpiece nu. Modul gerak ultra-precision tina ngambang hawa sumbu tunggal dina dasar granit bisa dipaké salaku platform gerak CMM, nu bisa ngawujudkeun-precision tinggi gerak linier sarta nyadiakeun lintasan gerak stabil pikeun usik ukur. Salaku conto, Hexagon's high-end CMM nganggo kombinasi ieu pikeun ngukur bagian anu ageung sareng kompleks kalayan akurasi ukur dugi ka tingkat mikron, nyayogikeun jaminan anu kuat pikeun kadali kualitas bagian dina otomotif, aerospace sareng industri anu sanés.
Widang Aerospace: Dina ngolah sareng nguji bagian aerospace, precision tinggi diperyogikeun. Contona, machining wilah mesin pesawat merlukeun kontrol tepat lintasan gerak alat pikeun mastikeun akurasi profil agul. Dasar granit tina sumbu tunggal hawa ngambang modul gerak ultra-precision bisa dilarapkeun ka puseur machining lima sumbu jeung alat sejenna nyadiakeun kontrol gerak-precision tinggi pikeun alat jeung mastikeun yén akurasi machining tina sabeulah bisa minuhan sarat desain. Dina waktos anu sami, dina prosés perakitan mesin aero, ogé kedah nganggo alat ukur precision tinggi pikeun ngadeteksi akurasi perakitan bagian. The modul gerak ngambang hawa tina basa granit bisa nyadiakeun rojongan stabil sarta gerakan akurat pikeun alat ukur pikeun mastikeun kualitas assembly.
Widang inspeksi optik: Dina prosés manufaktur sarta nguji komponén optik, perlu nedunan positioning-precision tinggi jeung pangukuran komponén optik. Salaku conto, nalika manufaktur komponén optik precision tinggi sapertos kaca spion sareng lénsa, anjeun kedah nganggo interferometer sareng alat-alat sanés pikeun ngadeteksi akurasi bentuk permukaan. Dasar granit tina sumbu tunggal hawa floating modul gerak ultra-precision bisa dipaké salaku platform gerakan interferometer nu, nu bisa ngawujudkeun akurasi positioning sub-micron sarta nyadiakeun rojongan data akurat pikeun deteksi komponén optik. Sajaba ti éta, dina alat ngolah laser, éta ogé perlu ngagunakeun platform gerak-precision tinggi pikeun ngadalikeun lintasan scanning tina sinar laser, dasar granit tina modul gerak ngambang hawa bisa minuhan sarat ieu, pikeun ngahontal processing laser precision tinggi.
waktos pos: Apr-07-2025