.
Dina widang manufaktur semikonduktor, akurasi alat pamariksaan wafer sacara langsung nangtukeun kualitas sareng hasil chip. Salaku pondasi anu ngadukung komponén deteksi inti, stabilitas diménsi bahan dasar alat maénkeun peran penting dina kinerja operasional jangka panjang alat. Granit sareng beusi tuang mangrupikeun dua bahan dasar anu umum dianggo pikeun alat pamariksaan wafer. Panilitian komparatif 10 taun parantos ngungkabkeun bédana anu signifikan antara aranjeunna dina hal stabilitas diménsi, nyayogikeun rujukan penting pikeun pilihan alat.
Latar Belakang sareng Desain Ékspériméntal
Prosés produksi wafer semikonduktor ngagaduhan sarat anu luhur pisan pikeun akurasi deteksi. Bahkan panyimpangan diménsi tingkat mikrométer tiasa nyababkeun panurunan kinerja chip atanapi bahkan scrapping. Pikeun nalungtik stabilitas diménsi granit sareng beusi tuang salami panggunaan jangka panjang, tim panaliti ngarancang ékspérimén anu nyimulasikeun lingkungan kerja anu nyata. Sampel granit sareng beusi tuang tina spésifikasi anu sami dipilih sareng disimpen dina rohangan lingkungan dimana suhu fluktuasi ti 15℃ dugi ka 35℃ sareng kalembaban fluktuasi ti 30% dugi ka 70% RH. Getaran mékanis salami operasi alat disimulasikeun ngalangkungan tabel geter. Diménsi konci sampel diukur unggal triwulan nganggo interferometer laser presisi tinggi, sareng data dirékam sacara terus-terusan salami 10 taun.
Hasil ékspérimén: Kaunggulan mutlak granit
Data ékspérimén salami sapuluh taun nunjukkeun yén substrat granit nunjukkeun stabilitas anu luar biasa. Koéfisién ékspansi termalna handap pisan, rata-rata ngan ukur 4,6 × 10⁻⁶/℃. Dina parobahan suhu anu drastis, simpangan diménsi salawasna dikontrol dina ± 0,001mm. Dina nyanghareupan parobahan kalembaban, struktur granit anu padet ngajantenkeun ampir teu kapangaruhan, sareng teu aya parobahan diménsi anu tiasa diukur. Dina lingkungan geter mékanis, karakteristik redaman granit anu saé sacara efektif nyerep énergi geter, sareng fluktuasi diménsi leutik pisan.
Sabalikna, pikeun substrat beusi tuang, koéfisién ékspansi termal rata-rata na ngahontal 11 × 10⁻⁶/℃ - 13 × 10⁻⁶/℃, sareng simpangan diménsi maksimum anu disababkeun ku parobahan suhu dina 10 taun nyaéta ± 0,05mm. Dina lingkungan anu lembab, beusi tuang rentan ka karat sareng korosi. Sababaraha sampel nunjukkeun deformasi lokal, sareng simpangan diménsi langkung ningkat. Dina pangaruh geteran mékanis, beusi tuang gaduh kinerja redaman geteran anu goréng sareng ukuranana sering fluktuasi, janten hésé pikeun minuhan sarat presisi tinggi tina pamariksaan wafer.
Alesan utama pikeun bédana stabilitas
Granit kabentuk salami ratusan juta taun ngaliwatan prosés géologis. Struktur internalna padet sareng seragam, sareng kristal mineralna disusun sacara stabil, ngaleungitkeun setrés internal sacara alami. Ieu ngajantenkeun éta henteu sénsitip pisan kana parobahan faktor éksternal sapertos suhu, kalembaban sareng geteran. Beusi tuang didamel ku prosés tuang sareng gaduh cacad mikroskopis sapertos pori-pori sareng liang keusik di jerona. Samentawis éta, setrés sésa anu dihasilkeun nalika prosés tuang condong nyababkeun parobahan diménsi dina rangsangan lingkungan éksternal. Sipat logam beusi tuang ngajantenkeun éta rentan ka karat kusabab kalembaban, ngagancangkeun karusakan struktural sareng ngirangan stabilitas diménsi.
Dampak kana alat-alat inspeksi wafer
Alat-alat inspeksi wafer dumasar kana substrat granit, kalayan kinerja diménsi anu stabil, tiasa mastikeun yén sistem inspeksi ngajaga presisi anu luhur pikeun waktos anu lami, ngirangan salah penilaian sareng deteksi anu lepat anu disababkeun ku panyimpangan akurasi alat, sareng ningkatkeun hasil produk sacara signifikan. Samentawis éta, sarat pangropéa anu handap ngirangan biaya siklus hirup alat sacara lengkep. Alat-alat anu nganggo substrat beusi cor, kusabab stabilitas diménsi anu goréng, meryogikeun kalibrasi sareng pangropéa anu sering. Ieu henteu ngan ukur ningkatkeun biaya operasi tapi ogé tiasa mangaruhan kualitas produksi semikonduktor kusabab presisi anu henteu cekap, anu nyababkeun poténsi karugian ékonomi.
Dina tren industri semikonduktor anu ngudag presisi anu langkung luhur sareng kualitas anu langkung saé, milih granit salaku bahan dasar pikeun alat pamariksaan wafer pasti mangrupikeun léngkah anu wijaksana pikeun mastikeun kinerja alat sareng ningkatkeun daya saing perusahaan.
Waktos posting: 14 Méi-2025