Granit parantos janten bahan anu umum dianggo dina industri semikonduktor kusabab sipat mékanisna anu saé, stabilitas termal, sareng koefisien ékspansi termal anu handap. Nanging, kalayan paménta anu terus ningkat pikeun presisi sareng produktivitas anu langkung luhur, bahan alternatif parantos muncul salaku pilihan anu layak pikeun fabrikasi komponén peralatan semikonduktor. Dina tulisan ieu, urang bakal ngajalajah sababaraha bahan alternatif pikeun bagian granit dina peralatan semikonduktor sareng ngabandingkeun kaunggulan sareng kakuranganna.
Bahan Alternatif pikeun Bagian Granit
1. Bahan kaca-keramik
Bahan keramik-kaca, sapertos Zerodur sareng Cervit, parantos seueur dianggo dina industri semikonduktor kusabab koefisien ékspansi termalna anu handap, anu caket sareng silikon. Hasilna, bahan-bahan ieu tiasa nyayogikeun stabilitas termal anu langkung saé sareng presisi anu ditingkatkeun dina prosés fabrikasi semikonduktor. Zerodur, khususna, gaduh tingkat homogenitas sareng stabilitas anu luhur, janten cocog pikeun manufaktur alat litografi.
Kauntungan:
- Koefisien ékspansi termal anu handap
- Presisi sareng stabilitas anu luhur
- Cocog pikeun aplikasi suhu luhur
Kakurangan:
- Hargana langkung mahal dibandingkeun sareng granit
- Relatif rapuh, tiasa nyababkeun tantangan dina mesin sareng penanganan
2. Keramik
Bahan keramik, sapertos aluminium oksida (Al2O3), silikon karbida (SiC), sareng silikon nitrida (Si3N4), gaduh sipat mékanis anu saé pisan, résistansi suhu luhur, sareng koéfisién ékspansi termal anu handap. Sipat-sipat ieu ngajantenkeun keramik idéal pikeun bagian peralatan semikonduktor anu meryogikeun stabilitas termal sareng presisi anu luhur, sapertos tahapan wafer sareng chuck.
Kauntungan:
- Stabilitas termal sareng kakuatan anu luhur
- Koefisien ékspansi termal anu handap
- Résistansi maké anu luhur sareng inertitas kimiawi
Kakurangan:
- Bisa rapuh sarta gampang retak, utamana nalika prosés ngolah jeung ngolah
- Ngadamel mesin sareng ngagosok keramik tiasa nangtang sareng nyéépkeun waktos
3. Logam
Bahan-bahan anu didamel tina logam, sapertos baja tahan karat sareng titanium, parantos dianggo pikeun sababaraha bagian alat semikonduktor kusabab kamampuan mesin anu saé sareng kakuatan anu luhur. Bahan-bahan ieu umumna dianggo dina aplikasi dimana stabilitas termal anu luhur henteu diperyogikeun, sapertos bagian ruang, kopling, sareng feedthrough.
Kauntungan:
- Kamampuh mesin sareng las anu saé
- Kakuatan sareng daktilitas anu luhur
- Hargana murah dibandingkeun sareng sababaraha bahan alternatif
Kakurangan:
- Koefisien ékspansi termal anu luhur
- Henteu cocog pikeun aplikasi suhu luhur kusabab masalah ékspansi termal
- Gampang korosi sareng kontaminasi
Kacindekan:
Singkatna, sanaos granit parantos janten pilihan anu populer pikeun bagian alat semikonduktor, bahan alternatif parantos muncul, masing-masing gaduh kaunggulan sareng kakurangan anu unik. Bahan kaca-keramik presisi pisan sareng stabil tapi tiasa rapuh. Keramik kuat sareng gaduh stabilitas termal anu saé tapi ogé tiasa rapuh, janten langkung sesah diproduksi. Logam murah, tiasa diolah, sareng ulet, tapi gaduh koefisien ékspansi termal anu langkung luhur sareng rentan ka korosi sareng kontaminasi. Nalika milih bahan pikeun alat semikonduktor, penting pikeun mertimbangkeun sarat khusus aplikasi sareng milih bahan anu ngimbangan biaya, kinerja, sareng reliabilitas.
Waktos posting: 19-Mar-2024