Dina link konci manufaktur chip - scanning wafer, akurasi alat nangtukeun kualitas chip. Salaku komponén penting pakakas, masalah ékspansi termal tina basa mesin granit geus narik loba perhatian.
Koéfisién ékspansi termal granit biasana antara 4 sareng 8 × 10⁻⁶ / ℃, anu langkung handap tibatan logam sareng marmer. Ieu ngandung harti yén nalika suhu robah, ukuranana robah rélatif saeutik. Nanging, éta kedah diperhatoskeun yén ékspansi termal rendah henteu hartosna teu aya ékspansi termal. Dina turun naek hawa ekstrim, sanajan ékspansi slightest bisa mangaruhan akurasi skala nano scanning wafer.
Salila prosés scanning wafer, aya sababaraha alesan pikeun lumangsungna ékspansi termal. The fluctuations hawa di bengkel, panas dihasilkeun ku operasi komponén parabot, sarta suhu luhur sakedapan dibawa ku ngolah laser sadayana bakal ngabalukarkeun dasar granit "dilegakeun sarta kontrak alatan parobahan suhu". Sakali dasarna ngalaman ékspansi termal, straightness tina rel pituduh jeung flatness tina platform nu bisa nyimpang, hasilna lintasan gerakan teu akurat dina tabel wafer. Komponén optik nu ngarojong ogé bakal mindahkeun, ngabalukarkeun sinar scanning "nyimpang". Gawé terus-terusan pikeun waktos anu lami ogé bakal ngumpulkeun kasalahan, ngajantenkeun akurasi langkung parah sareng parah.
Tapi tong hariwang. Jalma geus boga solusi. Dina hal bahan, urat granit kalayan koefisien ékspansi termal anu handap bakal dipilih sareng dirawat sepuh. Dina watesan kontrol hawa, hawa workshop ieu persis dikawasa dina 23 ± 0.5 ℃ atawa malah leuwih handap, sarta hiji alat dissipation panas aktip ogé bakal dirancang pikeun dasarna. Dina hal desain struktural, struktur simetris sareng dukungan fleksibel diadopsi, sareng ngawaskeun sacara real-time dilaksanakeun ngaliwatan sensor suhu. Kasalahan anu disababkeun ku deformasi termal sacara dinamis dilereskeun ku algoritma.
Alat-alat luhur sapertos mesin litografi ASML, ngalangkungan metode ieu, ngajaga éfék ékspansi termal tina dasar granit dina jarak anu alit, ngamungkinkeun akurasi scanning wafer ngahontal tingkat nanometer. Ku alatan éta, salami ieu dikawasa leres, dasar granit tetep pilihan dipercaya pikeun alat scanning wafer.
waktos pos: Jun-12-2025